四甲基氫氧化銨(TMAH)溶液，在晶片生產(chǎn)中用作CMP(化學(xué)機械拋光)預清洗劑，或在半導體領(lǐng)域的光刻工藝中作為顯影劑。為了*潤濕晶片表面，通常會(huì )在TMAH溶液中加入表面活性劑以降低其表面張力。確保一個(gè)穩定且不與表面幾何形狀相關(guān)的蝕刻過(guò)程。

動(dòng)態(tài)表面張力(隨時(shí)間變化的潤濕行為)對涂層的均勻性和一致性有著(zhù)非常重要的影響，靜態(tài)測量法如吊片和拉環(huán)的方法并不適用于這類(lèi)問(wèn)題的分析，因為他們測量的是靜態(tài)表面張力而非動(dòng)態(tài)表面張力。此外，使用靜態(tài)法測量后，必須對測試設備進(jìn)行非常復雜的清洗，這會(huì )耗費大量的時(shí)間。德國SITA公司根據不同的應用領(lǐng)域，提供不同的解決方案以檢測槽液配方的表面張力?；趧?chuàng )新的氣泡壓力法，SITA表面張力儀可以、快速的測量動(dòng)態(tài)表面張力，從動(dòng)態(tài)到準靜態(tài)的表面張力 。

SITA DynoTester是一個(gè)非常靈活、輕便的手持式表面張力測試儀，非常適用于工藝過(guò)程中質(zhì)量的監控，可進(jìn)行現場(chǎng)測量，測試時(shí)間短，測試結果能立即與所需值作對比。因此，SITA DynoTester 可對TMAH溶液的潤濕性能進(jìn)行簡(jiǎn)便快捷的分析。操作簡(jiǎn)單，無(wú)需任何專(zhuān)業(yè)經(jīng)驗，儀器的所有功能都可通過(guò)儀器上的按鍵實(shí)現。

對于高要求的TMAH溶液，以及需對檢測結果進(jìn)行連續監控的情況，SITA 公司推薦使用過(guò)程監控系統--SITA Clean Line ST。這一系統直接集成在工藝過(guò)程中，定期測量表面張力，并在設定的范圍內自動(dòng)比較數據，因此我們可在表

面活性劑濃度超出限定值后，在短時(shí)間內采取相關(guān)處理措施。設備至少可以?xún)Υ嬉徽甑臏y試數據，如果需要進(jìn)行長(cháng)期數據存儲，則可以通過(guò)USB 端口將數據傳輸到計算機。 SITA的表面張力儀可以可靠的監控槽液的質(zhì)量，為研發(fā)和清洗工藝過(guò)程建立良好的基礎進(jìn)而獲得高質(zhì)量結果。此外，表面張力檢測還能避免過(guò)量使用表面活性劑，從而降低生產(chǎn)成本。

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SITA Dynotester 表面張力儀